Ipari hírek

A kémiai mechanikai polírozás (CMP) eltávolítja a felesleges anyagot és a felületi hibákat a kémiai reakciók és a mechanikai kopás együttes hatására. Ez kulcsfontosságú folyamat az ostya felületének globális síkosításában, és nélkülözhetetlen a többrétegű réz összeköttetésekhez és az alacsony k dielektromos szerkezetekhez. A gyakorlati gyártásban

A szilícium lapka CMP (Chemical Mechanical Planarization) polírozó szuszpenziója kritikus komponens a félvezető gyártási folyamatban. Kulcsszerepet játszik annak biztosításában, hogy az integrált áramkörök (IC-k) és mikrochipek létrehozására használt szilícium lapkák a gyártás következő szakaszaihoz szükséges pontos simasági szintre legyenek csiszolva.

A félvezetőgyártásban a Chemical Mechanical Planarization (CMP) létfontosságú szerepet játszik. A CMP-eljárás kémiai és mechanikai hatásokat kombinál a szilíciumlapkák felületének simítására, egységes alapot biztosítva a következő lépésekhez, mint például a vékonyréteg-leválasztás és a maratás. A CMP polírozó szuszpenzió, mint ennek a folyamatnak a fő összetevője, jelentősen befolyásolja a polírozás hatékonyságát, a felület minőségét és a termék végső teljesítményét.

A Wafer CMP polírozó szuszpenzió egy speciálisan kialakított folyékony anyag, amelyet a félvezetőgyártás CMP folyamatában használnak. Vízből, kémiai maratószerekből, csiszolóanyagokból és felületaktív anyagokból áll, lehetővé téve a kémiai maratást és a mechanikus polírozást.

A szilícium-karbid csiszolóanyagokat jellemzően kvarcból és kőolajkokszból állítják elő elsődleges nyersanyagként. Az előkészítő szakaszban ezek az anyagok mechanikai feldolgozáson mennek keresztül, hogy elérjék a kívánt részecskeméretet, mielőtt kémiailag a kemencetöltetbe adagolnák.

Az elmúlt néhány évben a csomagolási technológia központi állomása fokozatosan egy „réginek tűnő” technológiára, a CMP-re (Chemical Mechanical Polishing) került. Amikor a hibrid kötés a fejlett csomagolások új generációjának vezető szerepévé válik, a CMP fokozatosan a színfalak mögül a reflektorfénybe kerül.