Ipari hírek

A Quartz Boat egy kulcsfontosságú terhelés-hordozó alkatrész, amelyet a félvezető gyártási folyamatában használnak. Elsősorban az ostyák magas hőmérsékletű feldolgozására használják, például diffúziót, oxidációt és lágyítást. Kiváló hőstabilitása, alacsony szennyeződés -jellemzői és korrózióálló képessége nélkülözhetetlen anyaggá teszi a félvezető iparban. Ez a cikk részletezi az anyagot, a fizikai tulajdonságokat, az osztályozást, a kvarc hajó alkalmazási forgatókönyveit és annak különbségeit a PECVD grafithajótól.

A PECVD grafit csónak alapanyag a nagy tisztaságú izotrop grafit anyag (a tisztaság általában ≥ 99,999%), amely kiváló elektromos vezetőképességgel, hővezető képességgel és sűrűséggel rendelkezik. A szokásos grafithajókkal összehasonlítva a PECVD grafithajóknak számos fizikai és kémiai tulajdonsággal rendelkeznek, és elsősorban a félvezető és a fotovoltaikus iparban használják, különösen a PECVD és a CVD folyamatokban.

A MOCVD grafit tálcák fontos szerepet játszanak az epitaxiális folyamatban. Ez a cikk részletes elemzést készít a MOCVD grafit tálcák kiválasztásáról az anyagtulajdonságok és az alkalmazás forgatókönyveinek szempontjából.