Hír

Ez a cikk elsősorban a szilícium -karbid kerámia széles körű alkalmazási kilátásait írja le. Arra is összpontosít, hogy a szilícium -karbid kerámiákban és a megfelelő megoldásokban a repedések okainak elemzését és a megfelelő megoldásokat elemezzék.

A félvezetőgyártás maratási technológiája gyakran találkozik olyan problémákkal, mint a terhelési hatás, a mikrobarázda hatás és a töltési hatás, amelyek befolyásolják a termék minőségét. A fejlesztési megoldások közé tartozik a plazma sűrűségének optimalizálása, a reakciógáz összetételének beállítása, a vákuumrendszer hatékonyságának javítása, ésszerű litográfiai elrendezés megtervezése, valamint a megfelelő maratási maszk anyagok és folyamatkörülmények kiválasztása.