Hír

A kiváló minőségű és magas hozamú szilícium-karbid szubsztrátok előkészítése során a mag megköveteli a termelési hőmérséklet pontos ellenőrzését a jó hőkezelő anyagokkal. Jelenleg a főként használt hőkezelő-tégelyes készletek nagy tisztességes grafit szerkezeti alkatrészek, amelyek funkciói az olvadt szénpor és a szilíciumpor melegítésére, valamint a hő fenntartására szolgál.

Amikor meglátja a harmadik generációs félvezetőket, akkor biztosan azon tűnődni fog, mi az első és a második generáció. A "generáció" itt a félvezető gyártásában használt anyagok alapján osztályozzuk.

Az elektrosztatikus chuck (ESC), más néven az elektrosztatikus chuck (ESC, e-chuck), egy olyan lámpatest, amely az elektrosztatikus adszorpció elvét használja az adszorbeált anyag tartására és rögzítésére. Vákuum- és plazmakörnyezethez alkalmas.