Hír

Ez a cikk elemzi azokat az okokat, amelyek miatt a SIC bevonja a SIC epitaxiális növekedés kulcsfontosságú anyagát, és a SIC bevonat sajátos előnyeire összpontosít a félvezető iparban.

A szilícium-karbid nanomatermékek (SIC) olyan anyagok, amelyek legalább egy dimenzióval rendelkeznek nanométer skálán (1-100 nm). Ezek az anyagok lehetnek nulla, egy-, két- vagy háromdimenziós, és különféle alkalmazásokkal rendelkeznek.

A CVD SIC egy nagy tisztaságú szilícium-karbid anyag, amelyet kémiai gőzlerakódás útján gyártanak. Elsősorban különféle alkatrészekhez és bevonatokhoz használják félvezető feldolgozó berendezésekben. A következő tartalom egy bevezetés a CVD SIC termékosztályozásához és alapvető funkcióiról