Ipari hírek

Az erősáramú elektronikában, az optoelektronikában és más területeken a SiC anyagok iránti növekvő kereslet következtében a SiC egykristály növekedési technológia fejlesztése a tudományos és technológiai innováció kulcsterületévé válik. A szilícium-karbamid egykristály-növesztő berendezés magjaként a termikus mező tervezése továbbra is nagy figyelmet és mélyreható kutatást fog kapni.

A folyamatos technológiai fejlődés és a mélyreható mechanizmus kutatása révén a 3C-SIC heteroepitaxiális technológia várhatóan fontosabb szerepet játszik a félvezető iparban, és elősegíti a nagy hatékonyságú elektronikus eszközök fejlesztését.

Térbeli ALD, térben izolált atomréteg -lerakódás. Az ostya különböző pozíciók között mozog, és minden pozícióban különböző prekurzoroknak van kitéve. Az alábbi ábra összehasonlítja a hagyományos ALD és a térben elkülönített ALD -t.