Ipari hírek

A rendelkezésre álló technológiák közül a nagyméretű ellenállásfűtéses SiC kristálynövesztő kemence kritikus megoldásként jelent meg a nagy átmérőjű, alacsony hibás SiC kristályok jobb konzisztenciájú és hatékonyságú előállításához. Ez a cikk bemutatja ennek a technológiának a működését, előnyeit, alkalmazásait, és azt, hogy az iparág vezetői miért bíznak meg a Veteksemi innovatív megoldásaiban.

A SiC bevonatú grafit szuszceptor az ASM-hez nem csupán egy cserealkatrész az epitaxiás rendszerben. Ez egy folyamatkritikus hordozó, amely befolyásolja a termikus egyenletességet, az ostya tisztaságát, a bevonat tartósságát, a kamra stabilitását és a hosszú távú gyártási költségeket.

A CVD TaC bevonat nem csupán védőfedél vagy bevont grafit alkatrész. A magas hőmérsékletű félvezető eljárásoknál befolyásolhatja a kamra tisztaságát, termikus stabilitását, a rész élettartamát és a folyamat konzisztenciáját.